产品介绍

1. 尺寸 100cm(D)*150cm(L)*188cm(H)
2. 卡匣 5 个(2 进 2 出)1NG/6 寸，8 寸
3. 检验台机构：COGNEX 相机 OCR 总成，镜头分辨率 ≥500 万画素
4. 机器人(Robot)1 台，日本不二越 6 轴
5. 三菱 PLC，三菱伺服马达，MW 变压器
6. 设备重量：300kg
7. 电源规格：220v/24v
8. 使用负气压：10-2 次方 TORR， 正气压5/kg(SMC 静电消除设备)
9. 通讯：乙太网络，具备 SECS 通信模块及对应通讯功能
10. 本机适用于 6/8 英寸晶圆片